Clean Room
Clean Room to bardzo wysoko wyspecjalizowane pomieszczenia, gdzie możliwe jest prowadzenie procesów w kontrolowanych warunkach czystości, temperatury i wilgotności. Dzięki temu otrzymywane wyniki w postaci pomiarów i próbek są powtarzalne i o zdecydowanie wyższym standardzie niż wyniki z laboratoriów bez kontroli czystości. W Łukasiewicz – PORT laboratorium Clean Room to obszerne i nowocześnie wyposażone pomieszczenia z nowoczesnym wyposażeniem.
Precyzja i doskonałość
Clean Room
Jest zlokalizowane w pomieszczeniach o klasie czystości ISO 5 oraz ISO 6 zgodnie z normą ISO 14644. Dysponujemy pomieszczeniami czystymi o łącznej powierzchni > 600 m2. W laboratorium tego typu mamy stały monitoring parametrów takich jak temperatura i wilgotność.
Okresowo przeprowadzane pomiary czystości potwierdzają klasę czystości. Ilość pyłów lub innych mikrocząsteczek jest utrzymywany na stale niskim poziomie. Dodatkowo pomieszczenia przystosowane do litografii wyposażono w specjalne systemy oświetlenia, które minimalizują ilość światłą, które mogłoby zakłócić proces fotolitografii.
Techniki badawcze
Główne techniki rozwijane i wdrażane w laboratorium to fotolitografia, bezmaskowa litografia optyczna, osadzanie warstw metalicznych i dielektrycznych (rozpylanie magnetronowe, ewaporacja przy użyciu wiązki elektronowej, PECVD) oraz wytrawiania mokre i plazmowe (ICP-RIE).
Naszą ambicją jest również rozwój kompetencji w wytwarzaniu cienkich warstw metodą osadzania warstw atomowych (ALD) i precyzyjnego druku wysokorozdzielczych ścieżek metalicznych dla zintegrowanej elektroniki. Laboratorium posiada pełną zdolność do analizy i walidacji wytworzonych struktur i warstw, zarówno za pomocą precyzyjnej mikroskopii jak i elipsometrii spektroskopowej oraz dwóch profilometrów – stykowego i optycznego.
Tematyka i działalność
Świadczymy usługi komercyjne dla firm i instytucji badawczych, które potrzebują zaawansowanych technik mikrofabrykacji oraz charakteryzacji mikro- i nanostruktur oraz warstw. Zapraszamy do współpracy zarówno w formie kontraktów badawczych, jak i wspólnych projektów.
Nasz zespół współpracuje z wieloma grupami badawczymi, zarówno w PORT, jak i w innych instytucjach, w obszarach takich jak optoelektronika oparta na półprzewodnikach III-V, fotoniczne komponenty na bazie warstw SiO2-TiO2 wytwarzanych metodą zol-żel, a także zaawansowane materiały, takie jak perowskity i sztuczne opale.
Specjalizujemy się w wytwarzaniu planarnych komponentów fotonicznych przy użyciu metod litograficznych. Obecnie naszym głównym obszarem badań jest rozwój biosensorów opartych na zintegrowanych układach fotonicznych (PIC).
